半導體行業硅烷廢氣處理工藝

文章出處：鑫藍環保鑫藍動態網責任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發表時間：2023-04-19 00:00:00【大中小】

1.硅烷廢氣簡述

多晶硅，是單質硅的一種形態。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅。硅烷廢氣屬于有D、易R易B的廢氣，它對人身體健康有傷害，因此，企業在工業生產活動過程產生硅烷廢氣，為了保持良好的工作條件和防止破壞自然環境，需要對工業生產過程對產生的硅烷廢氣處理，顯得尤為重要。

2.硅烷廢氣處理工藝

硅烷廢氣具有易R易B氣體，同時又屬于弱酸性氣體，因此，對于硅烷廢氣處理可采用堿洗法、燃燒法處理即可處理，接下來鑫藍環保小編詳細介紹硅烷廢氣處理工藝。

（1）堿洗法

將集氣罩收集硅烷廢氣通過管道輸送進入堿洗塔，經堿洗塔酸堿中和處理，達標排放。

（2）燃燒法-TO直燃爐

采用TO直燃式廢氣焚燒技術，對氧化和碳化過程中產生的廢氣進行焚燒。該廢氣焚燒裝置在有效處理廢氣的同時，還能將焚燒產生的熱量進行回收利用，如通過熱交換器，將廢氣中的熱量傳遞給氧化用的新鮮空氣，節約了一定的能源。TO直燃爐由全自動點火器將噴入燃燒室的柴油點燃，所有廢氣在燃燒室里被加熱到大約850℃，有毒氣體在燃燒室里被高溫焚燒掉。由低溫和高溫碳化爐排放出的高濃度有毒廢氣直接通過噴嘴（管口）進入燃燒室。氧化爐排放出的大流量廢氣被分成兩股，一小部分被用作助燃空氣，另一部分在溫度為650℃以上的廢氣預熱器中與焚燒爐排放標準的尾氣，經換熱器將熱量傳遞給供氧化爐使用新鮮空氣。